高频问法 · 保研 / 考研复试
集成电路工艺原理面试题库
集成电路工艺是把材料、图形和掺杂按顺序转化为可工作的器件与互连。回答工艺题时应同时说明步骤目的、关键参数、选择性或均匀性，以及它对器件和良率的影响。
适用：085403 集成电路工程知识库
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集成电路工艺原理
光刻、刻蚀、离子注入、氧化扩散和工艺流程。
课程模块：微电子与集成电路 · 芯片设计与制造。重点：光刻、刻蚀、离子注入、氧化扩散。
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